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有Si覆盖的部分氧化多孔硅的光致发光

Origin of Enhanced Photoluminescence in Si\|Covered POPS

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【作者】 顾沂吴兴龙唐宁鲍希茂

【Author】 GU Yi, WU Xing\|long, TANG Ning and BAO Xi\|mao(National Laboratory of Solid State Microstructures and Department of Physics, Nanjing University, Nanjing\ 210093, China)Received 10 April 1999

【机构】 南京大学固体微结构国家重点实验室南京大学物理系!南京210093

【摘要】 在488nm 的Ar+ 激光激发下,Si覆盖的部分氧化多孔硅(POPS)的光致发光谱(PL)在1.78eV 处展示了一个稳定的PL峰,它的强度达到刚制备多孔硅的发光强度.使用X 射线衍射、Ram an 散射、傅里叶变换红外吸收和电子自旋共振等对其发光机理进行了系统的研究.结果表明,这个增强的PL峰不是起源于量子限制硅晶粒中的带带复合,也不是起源于样品表面局域态或硅晶粒与氧化物之间的界面态的辐射复合.通过与Ge覆盖的部分氧化多孔硅的相关结果比较,我们认为这个稳定增强的PL峰起源于氧相关缺陷中心的光学跃迁

【Abstract】 Partially oxidized porous Si(POPS) with Si covering shows an enhanced and stable PL peak at 1 78eV, when excited with 488nm line of Ar\++ laser. Its maximal intensity is larger than that of fresh as prepared PS. X\|ray diffraction, Raman scattering, infrared spectroscopy and electron spin resonance indicate that the enhanced PL can not originate from both band\|to\|band recombination in quantum confined Si crystallites and radiative recombination in state localized at the surface or interfacial region between Si and the oxide. In contrast with the corresponding results from Ge\|covered POPS samples,optical transitions in the oxygen\|related defect centers are proposed to be responsible for the observed PL.

【关键词】 多孔硅光致发光部分氧化
【Key words】 Porous SiPhotoleminescencePartially Oxidition
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 半导体学报 ,CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TN201
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】81
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