柔性衬底ITO导电膜的低温制备及特性研究-中国学术期刊网络出版总库

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柔性衬底ITO导电膜的低温制备及特性研究

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【英文篇名】	Preparation and Characteristics of ITO Films Deposited on Polyester at Low Substrate Temperature
【下载频次】	★★★★★
【作者】	马瑾; 赵俊卿; 叶丽娜; 田茂华; 马洪磊;
【英文作者】	MA Jin; ZHAO Jun qing; YE Li na; TIAN Mao hua; MA Hong lei (Institute of Optoelectronic Materials and Devices; Shandong University; Jinan 250100; China);
【作者单位】	山东大学光电材料与器件研究所;
【文献出处】	半导体光电 , SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS, 编辑部邮箱 2000年 01期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	柔性衬底; 透明导电膜; ITO薄膜;
【英文关键词】	organic substrate; transparent conductive film; ITO film;
【摘要】	用真空反应蒸发技术在有机薄膜衬底上制备出ITO透明导电薄膜 ,对薄膜的低温制备 (80～ 2 4 0℃ )、结构和光电特性进行了研究。制备的薄膜为多晶膜 ,具有纯三氧化二铟的立方铁锰矿结构 ,最佳取向为 (111)方向。薄膜在可见光区的最低电阻率为 6 .6 3× 10 - 4Ω·cm ,透过率达到 82 %。
【英文摘要】	ITO films have been prepared on polyester substrate by reactive evaporation technique at low substrate temperature.Structural and photoelectric properties of the deposited films are investigated.The deposited films are polycrystalline with cubic bixbyite structure.They exhibit a (111) preferred orientation.High quality films with resistivity as low as 6.63×10 -4 Ω·cm and transmittance of over 82% have been obtained.
【基金】	山东省自然科学基金资助项目!(970 310 3)
【分类号】	TN304.21
【正文快照】	1　引言锡掺杂的氧化铟 (ＩＴＯ)透明导电膜是一种重要的光电子信息材料 ,优良的光电特性使其在太阳能电池、液晶显示器、热反射镜等领域得到广泛的应用。对以玻璃为衬底的ＩＴＯ透明导电膜已进行过广泛深入的研究[1～ 4 ] 。有机薄膜基片ＩＴＯ透明导电膜具有可挠曲、重量轻、

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