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激光衍射微细线径测量仪的研究
【摘要】 本文根据激先衍射理论，研究了用衍射方法测量微细线径的测量系统。在信号处理方面采用相干性极好的He－Ne激光器、高分辨率CCD图像传感器和8031单片机系统，使测量精度比较接近于理论精度。
- 【文献出处】 仪器仪表与分析监测 ,INSTRUMENTATION . ANALYSIS . MONITORING , 编辑部邮箱 ,1999年02期
- 【分类号】TH74
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【摘要】 本文根据激先衍射理论，研究了用衍射方法测量微细线径的测量系统。在信号处理方面采用相干性极好的He－Ne激光器、高分辨率CCD图像传感器和8031单片机系统，使测量精度比较接近于理论精度。