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椭偏仪的结构原理与发展

The Construction, Principle and Development of Ellipsometer

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【作者】 包学诚；

【Author】 Bao Xuecheng (Shanghai Jiao Tong University 200030)

【机构】 上海交通大学!上海200030；

【摘要】 椭偏仪是目前薄膜光学参数测量最先进的智能化仪器，本文比较系统地介绍了仪器的结构原理、测量方法和发展现状。

【Abstract】 Ellipsometer is the most advance, intelligent instrument for measuring the optical data of film. The paper introduces the principle, measuring method and developments of ellipsometer more systemally.

【关键词】 光学薄膜； 椭圆偏振光； 椭偏仪；
【Key words】 Cptical film Elliptically polarized light Ellipsometer；
  • 【文献出处】 现代科学仪器 ,MODERN SCIENTIFIC INSTRUMENTS , 编辑部邮箱 ,1999年03期
  • 【分类号】TH74
  • 【被引频次】61
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