节点文献

FED支撑技术研究现状

CURRENT RESEARCH OF FED SPACER FABRICATION TECHNOLO GY

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 罗淑云盛海峰徐旸绯于宏宇

【Author】 Luo Shuyun Sheng Haifeng Xu Yangfei Yu Hongy u (Dept of Electronic Engineering,Tsinghua University,Beijing100084 )

【机构】 清华大学电子工程系

【摘要】 FED(FieldEmisionDisplay,场致发射显示器)是世界上发达国家正在研制的一种具有巨大潜在市场的平板型显示器件,支撑技术是FED研究中的关键技术之一,也是微细加工技术领域的一个有意义的研究课题。叙述了FED对支撑技术的研究要求,介绍了美国、日本的几家公司和研究机构近几年的支撑技术研究方案和结果。

【Abstract】 FED(Field Emission Display)is a new f lat panel display showing great market potential,on whose fabrication many devel oped countries are doing research.Meanwhile,spacer technology is not only one of the key technologies of FED fabrication but also a meaningfultopic in the field of micro fabrication technolgy.In this paper,the requirements of qualified FED spacers are presented,various spacer fabrication technologies adopted by some r esearch groups and companies in USA and Japan are introduced.

【关键词】 场致发射显示器支撑柱
【Key words】 FEDspacer
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,MICROFABRICATION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1999年02期
  • 【分类号】TN141
  • 【下载频次】37
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络