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SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用

SOI HIGHTEMPERATURE DEVICES AND THEIR APPLICATIONS IN AUTOMOBILE ELECTRONICS

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【作者】 刘彦松多新中黄继颇张苗王连卫林成鲁

【Author】 Liu Yansong\ Duo Xinzhong\ Huang Jipo\ Zhang Miao\ Wang Lianwei\ Lin Chenglu [WT8.BX](State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Metallurgy, The Chinese Academy of Sciences, Shanghai\ 200050)

【机构】 中国科学院上海冶金研究所

【摘要】 石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路.SOI(silicon-on-Insulator)技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景.文章简要介绍了SOI技术应用于制造高温器件和电路方面的进展情况

【Abstract】 High-temperature devices and circuits are in urgent need in the well logging, aerospace and automotive industries. Silicon-on-insulator(SOI) technology holds great promise in the fabrication of high-temperature devices and circuits.Current developments in the application of SOI technology to this field are reviewed.

【关键词】 SOI高温器件和电路
【Key words】 SOIhigh-temperature devices and circuits
【基金】 国家自然科学基金,国防军工重点预研资助项目
  • 【分类号】TN409
  • 【被引频次】7
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