节点文献

金刚石薄膜合成技术

Synthesis of Diamond Thin Films

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 向军； 饶丽；

【Author】 XIANG Jun RAO Li (Metallic Materials & Heat Treatment Teaching Group Sichuan University of Science and Technology,chengdu 610039)

【机构】 四川工业学院材料科学与工程系!四川成都610039；

【摘要】 作者对金刚石薄膜气相合成的历史，金刚石薄膜的沉积方法以及金刚石薄膜沉积技术的发展方向和应用前景进行了论述。

【Abstract】 This paper describes the history and advancement of synthesizing diamond thin films,and also summerizes its advacing direction and application prospect.

【关键词】 金刚石； 薄膜； 气相沉积；
【Key words】 diamond； thin film； vapor deposit；
  • 【文献出处】 四川工业学院学报 ,SICHUAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1999年03期
  • 【分类号】TN314.180.55
  • 【被引频次】11
  • 【下载频次】125
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)