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SnO2薄膜的喷涂法制备

Preparation of SnO 2 Thin film by Spraying Method

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【作者】 贾维国； 宋晓琴； 张常在； 刘玉琴；

【Author】 JIA Wei guo,SONG Xiao qin,ZHANG Chang zai,LIU Yu qin (Department of Physics,NeiMongol University,Hohhot 010021,PRC)

【机构】 内蒙古大学物理学系!内蒙古呼和浩特010021；

【摘要】 采用ＳｎＣｌ４ 水解溶液，用喷涂、退火的方法制备ＳｎＯ２ 薄膜，并研究了ＳｎＯ２ 薄膜的电特性和掺杂浓度的关系

【Abstract】 Adopted hydrolysis solution of SnCl 4,the SnO 2 films have been preparated by spraying and annealing method.The relation between electrical properties of SnO 2 films and doped impurity concentration have been investigated.

【关键词】 喷涂法； SnO2； 薄膜；
【Key words】 spraying method； SnO2； thin film；
  • 【文献出处】 内蒙古大学学报(自然科学版) ,ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS NEIMONGOL , 编辑部邮箱 ,1999年06期
  • 【分类号】TN304.21
  • 【被引频次】4
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