单片集成四波长DFB激光器列阵研究

【摘要】 随着互联网、宽带综合业务数字网的高速发展，要求光纤通信系统能够提供超高速、大容量的信息传输．波分复用技术可以提高系统传输速率，同时新增投资小，因此成为目前光通信研究及应用的热点．在ＷＤＭ系统中，多波长集成的ＤＦＢ激光器列阵是波分复用技术的核心器件．因为它不仅可以降低制作成本，同时可以简化激光器与单模光纤之间的耦合．然而，在ＷＤＭ系统中，０．８ｕｍ的波长间隔对１．５５ｕｍＤＦＢ激光器来说，光栅的周期间隔仅为０．１３ｕｍ．这样的精度即使对采用高精度的电子束曝光系统而言，想要精确、稳定的把光栅周期控制在０．１ｎｍ以内也很困难．本文基于目前国内的设备与技术，采用全息曝光方法，通过改变有源区和光栅轴向夹更多还原