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用作金刚石微电子和微机械器件的若干关键技术

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【摘要】 针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题 ,总结了近年来这些方面的研究成果 ,包括 :用交流 直流负偏压微波等离子化学气相沉积 (MPCVD)在绝缘SiO2衬底上实现金刚石高密度成核 ,高成核选择比的金刚石选择生长技术 ,铝掩模氧反应离子束刻蚀金刚石薄膜的图形化技术 ,以及与金刚石生长工艺兼容的牺牲层、绝缘层技术等

【基金】 国家攀登计划B微电子机械系统(MEMS)(批准号 :85 37)资助项目
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】8
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