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激光全息用于微电子领域发展潜力的简析
【摘要】 激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。
- 【文献出处】 激光与光电子学进展 ,LASER & OPTRONICS PROGRESS , 编辑部邮箱 ,1999年S1期
- 【分类号】TN249
- 【被引频次】5
- 【下载频次】126
【摘要】 激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。