节点文献

激光全息用于微电子领域发展潜力的简析

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 路敦武； 黄惠杰；

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海； 201800；

【摘要】 激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点，对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。

【关键词】 激光全息； 光刻； 掩模； 微电子；
  • 【文献出处】 激光与光电子学进展 ,LASER & OPTRONICS PROGRESS , 编辑部邮箱 ,1999年S1期
  • 【分类号】TN249
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】126
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)