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自动椭偏仪及其在LCD膜系测量中的应用

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【摘要】 简要介绍了椭圆偏振测量术的基本原理,并对自动椭偏仪进行了介绍。由于自动椭偏仪具有无损探测、测量准确度高和测量迅速等特点,它非常适合用于LCD薄膜系统光学性质的在线测量。

【关键词】 椭圆偏振测量术; 自动椭偏仪; LCD; 薄膜;
  • 【文献出处】 激光与光电子学进展 ,LASER & OPTRONICS PROGRESS , 编辑部邮箱 ,1999年S1期
  • 【分类号】TN16
  • 【被引频次】2
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