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57Fe+、N2+注入Cu衬底的穆斯堡尔谱研究
M■ssbauer Study of 57Fe+ and N2+ coimplantion in Cu
【摘要】 57Fe＋和N2＋双离子注入Cu衬底中，在室温时形成了NaCl结构的FeNx，x约在0．63-0．65间。退火过程中发现，由于氮的存在，氮原子影响了α－Fe的体扩散温度，分解的α—Fe可重新聚集在含N的原子组团中，形成新的α—Fe颗粒，其分解温度可高于600℃。
【Abstract】 The thermodynamic process of 57Fe+ and N2+ ions coimplantion in Cu wasstudied by CEMS. The Fe nitride with NaCl structure was found. The bulk diffusiontemperature of a -Fe in Cu was influenced by N, the nitrogen can play a role intrapping and futher stabilizing a new a phase of the dissociated iron.
【关键词】 离子注入；
铁氮化合物；
α—Fe体扩散温度；
内转换电子穆斯堡尔谱；
【Key words】 Ion implantation； Iron nitride； Bulk diffusion temperature of a -Fe； CEMS；
【Key words】 Ion implantation； Iron nitride； Bulk diffusion temperature of a -Fe； CEMS；
【基金】 国家自然科学基金
- 【文献出处】 核技术 ,NUCLEAR TECHNIQUES , 编辑部邮箱 ,1999年08期
- 【分类号】TG115
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