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立方氮化硼单晶-金刚石薄膜异质p-n结

CUBIC BORON NITRIDE CRYSTAL DIAMOND FILM HETERJUNCTION p n DIODE

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【作者】 张铁臣高春晓王成新季燕菊邹广田

【Author】 Zhang Tiechen,Gao Chunxiao,Wang Chengxin,Ji Yanju,Zou Guangtian (State Key Laboratory for Superhard Materials,Jilin University,Changchun 130023)

【机构】 吉林大学超硬材料国家重点实验室!长春130023

【摘要】 在 Si 中掺杂 N 型片状立方氮化硼单晶的(111) 面上,利用热灯丝化学气相沉积方法生长了掺 B 的 P 型金刚石薄膜,从而制得了立方氮化硼单晶金刚石薄膜异质pn 结,测试了该pn 结的 V A 特性,结果表明其整流特性良好。

【Abstract】 In this paper,B doped P type diamond film was grown on Si doped N type cubic boron nitride (cBN) flaky crystal by means of hotfilament CVD method.A heterjunction p n diode was fabricated.The electrical test shows that it has high rectification efficiency.

【关键词】 金刚石多晶膜cBN单晶体p-n结
【Key words】 crystalline diamond filmcBN crystalp n junction.
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 高压物理学报 ,CHINESE JOURNAL OF HIGH PRESSURE PHYSICS , 编辑部邮箱 ,1999年03期
  • 【分类号】O475
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】176
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