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LLL型X射线干涉仪中的晶片厚度的最佳选择

Optimization of the lamella thickness of the LLL interferometer

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【作者】 王林曹芒李达成

【Author】 WANG Lin, CAO Mang, LI Dacheng (Tsinghua Univeristy, Beijing 100084)

【机构】 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室

【摘要】 要实现X射线干涉测量,关键是Moire条纹要有良好的对比度,接收信号要有足够的强度。影响Moire条纹对比度及信号强度的因素很多,仅对通过优化干涉仪中晶片的尺寸实现Moire条纹高对比度及信号高强度的方法进行了理论分析。

【Abstract】 The key technology in realizing X ray interferometry is the fine contrast of Moire fringe and high intensity of the receiving signal. They can be influenced by many factors. This paper mainly discusses the improvement of the contrast and the signal intensity through the optimization of thickness of the three silicon lamella.

【关键词】 X射线干涉测量最佳选择
【Key words】 X ray interferometryoptimization
【基金】 自然科学基金
  • 【文献出处】 光学技术 ,OPTICAL TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1999年01期
  • 【分类号】TH744.3
  • 【被引频次】2
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