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MOCVD反应室的计算机辅助设计

TheComputeraideddesignforMOCVDReactors

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【作者】 陈维友； 杨丽颍； 张冶金； 曹晓光； 汪爱军； 刘式墉；

【Author】 ChenWeiyouYangLiyingZhangYejinCaoXiaoguangWangAijunLiuShiyong (Dept.ofElectronicsEng.,JilinUniv.,Changchun,130023,CHN)

【机构】 吉林大学电子工程系；

【摘要】 给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布、压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例，对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。

【Abstract】 BasedonthetransporttheoryofMOCVDreactor,asimulatingsoftwareispresentedinthispaperforthedesignofMOCVDreactors.Thissoftwareissuitableforthetestofcurrentreactorsandthedevelopmentofnewreactors.Asaexample,theeffectoftheflowatentranceontheflowdistributioninreactorisdiscussed.

【关键词】 金属有机物化学汽相淀积反应室； 流体力学； 计算机辅助设计；
【Key words】 MOCVDReactorTransportTheoryCAD；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 固体电子学研究与进展 ,RESEARCH & PROGRESS OF SOLIA STATE ELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1999年02期
  • 【分类号】TP391.72,TN304.052
  • 【被引频次】3
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