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一种新的确定少子产生特性的方法——瞬态电容弛豫谱方法

A New Method for Determining the Generation Characteristics of the Minority Carrier Transient Capacitance Relaxation Spectral Analysis Method

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【作者】 解冰何燕冬许铭真谭长华

【Author】 Xie Bing,He Yandong,Xu Mingzhen,Tan Changhua (Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871)

【机构】 北京大学微电子所

【摘要】 本文基于差值取样谱定理,提出一种用于同时确定少子寿命及表面产生速度的新方法———瞬态电容弛豫谱方法,该方法利用谱的峰值位置和高度能同时、准确、唯一地得到少子寿命及表面产生速度.同时将该方法与Zerbst方法得到的结果进行了对比.

【Abstract】 A new method to determine the minority carrier lifetime and the surface generation velocity simultaneously,called transient capacitance relaxation spectral analysis method,is proposed in this paper.Using this method,the minority carrier lifetime and the surface generation velocity can be obtained simultaneously,accurately and solely from the position and the height of the spectral peak.Meanwhile we compare the results from this method with those from Zerbst method.

  • 【文献出处】 电子学报 ,ACTA ELECTRONICA SINICA , 编辑部邮箱 ,1999年05期
  • 【分类号】TN301
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