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微电机和微动力MEMS

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【作者】 齐臣杰； 刘理天； 谭智敏；

【机构】 清华大学；

【摘要】 微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支，本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。

【关键词】 微电机； 微执行器； 微发电机； 微涡轮发动机； 微机电系统；
  • 【分类号】TM38
  • 【被引频次】19
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