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微电子技术新领域

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【作者】 陈克金； 邵凯；

【机构】 南京电子器件研究所；

【摘要】 微电子技术新领域陈克金，邵凯（南京电子器件研究所，南京，２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体，将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，将这...

【关键词】 微电子机械系统； 微加工技术； 技术目标； 电子系统； 克金； 微执行器； 加速度计； 微机械加工； 运动机构； 体硅；
  • 【文献出处】 电子工程师 ,ELECLIONCI ENGINEER , 编辑部邮箱 ,1999年04期
  • 【分类号】TN4
  • 【下载频次】35
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