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集成电路新技术展望

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【作者】 任旭鸣； 张伟民； 居悌；

【机构】 南京邮电学院!南京； 210003；

【摘要】 介绍了集成电路技术的发展，根据最近美国国家半导体技术发展蓝图讨论了集成电路技术发展近况和趋势，着重讨论了在集成电路生产中采用的新材料和新技术。

【关键词】 集成电路； 光刻； 互连； 计算机辅助设计；
  • 【文献出处】 电子工程师 ,ELECLIONCI ENGINEER , 编辑部邮箱 ,1999年09期
  • 【分类号】TN40
  • 【被引频次】6
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