微机电系统技术

【摘要】 一概述微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅ－ｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）是指可批量制作的；集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。ＭＥＭＳ是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。图工是ＭＥＭＳ的模型框图。ＭＥＭＳ的特点是：１］微型化：ＭＥＭＳ器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。２］以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。３］批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完更多还原