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光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展
New progress in optically excited and interrogated micromachined silicon resonant sensor
【摘要】 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。
【Abstract】 Optically excited and picked micromachined silicon resonant sensors are introduced based on the basic principle.Recent progress in pressure and temperature sensors and the future trend in this field are also discussed.
【关键词】 硅微机械；
谐振传感器；
光激励；
光拾取；
【Key words】 Silicon Micromachine； Resonant Sensor； Optical Excitation； Optical interrogation；
【Key words】 Silicon Micromachine； Resonant Sensor； Optical Excitation； Optical interrogation；
【基金】 国家自然科学基金
- 【文献出处】 半导体光电 ,SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1999年01期
- 【分类号】TP212
- 【被引频次】6
- 【下载频次】111