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FTIR测量及双调制和步进扫描技术的应用

Double modulation and step scan technique applications in FTIR spectrum measurements

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【作者】 张永刚李爱珍

【Author】 ZHANG Yong-gang,LI Ai-zhen (State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050,China)$$$$

【机构】 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室!上海200050

【摘要】 介绍了傅里叶变换红外( F T I R) 测量及双调制和步进扫描技术的基本原理,讨论了中红外波段半导体材料和器件光谱研究中的一些特殊要求以及在 F T I R 方法中引入双调制和步进扫描技术的必要性,并结合一些具体应用实例探讨了这些技术的适用范围。

【Abstract】 The Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy, as well as double modulation and step scan techniques, are described. Some special demands in the spectroscopy research of mid-infrared band semiconductor materials and devices by using FTIR are discussed. The applications of double modulation and step scan techniques in this field and their flexibility are also discussed.

  • 【文献出处】 半导体光电 ,SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1999年04期
  • 【分类号】TN219
  • 【被引频次】6
  • 【下载频次】147
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