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硅微电容式加速度传感器结构设计

Structure optimization design of silicon micro capacitive accelerometer

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【作者】 吴英； 江永清； 温志渝； 胡松；

【Author】 WU Ying,JIANG Yong-qing,WEN Zhi-yu,HU Song (Optoelectronic Engineering College,Chongqing University , Chongqing 400044,China)$$$$

【机构】 重庆大学光电工程学院!重庆400044；

【摘要】 通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。

【Abstract】 In this paper, the property of silicon micro capacitive accelerometer is analyzed and discussed by establishing the model of sensor, laying the foundation for optimization design of sensor system structure.

【关键词】 硅微机械； 电容式加速度传感器； PWM调制；
【Key words】 silicon micromachine； capacitance-type accelerometer； PWM modulating；
  • 【文献出处】 半导体光电 ,SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1999年04期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】7
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