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真空蒸镀薄金属膜的厚度及光学常数的测量

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【作者】 谭福进； 朱云叶； 勤林辉；

【机构】 暨南大学； 暨南大学；

【摘要】 本文叙述用内、外偏振测量的方法同时测定真空蒸镀薄金属膜的厚度和光学常数．给出真空蒸镀薄铝膜和薄铜膜的折射率及消光系数随厚度变化的实验结果．

【关键词】 光学常数； 真空蒸镀； 金属膜； 短波通滤光片； 光学薄膜； 椭偏仪； 金属薄膜； 玻璃衬底； 膜系设计； 椭圆偏振；
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