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高频等离子体化学气相沉积制备氮化硅超细粒子
【机构】 华东理工大学技术化学物理研究所；
【摘要】 <正>1前言氮化硅是国内外从五十年代中期发展起来的一种非氧化物高温结构材料,具有高温强度大、硬度高、耐热震性好、耐磨损、抗腐蚀等优良的化学性质,适合于高温动态应力集中条件下作工程结构材料之用,被认为是制作高效陶瓷发动机最有希望的工程陶瓷。氮化硅是一种共价键强的化合物,其自扩散系数小、烧结困难,其粒子粒度的大小及杂质的含量均会影响其烧结性能,因而对烧结用的氮化硅粉末提出了纯度高、粒径小、
- 【会议录名称】 第四届全国颗粒测试学术会议暨第三届全国超微颗粒学术讨论会论文集
- 【会议名称】第四届全国颗粒测试学术会议暨第三届全国超微颗粒学术讨论会
- 【会议时间】1995-04
- 【会议地点】中国广东珠海
- 【分类号】TQ127.2
- 【主办单位】中国颗粒学会颗粒测试专业委员会