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等离子体净化提升覆膜阴极发射性能研究
【机构】 北京真空电子技术研究所；
【摘要】 覆膜阴极因其优异的性能在很多领域具有广泛的应用,其预处理过程中增加气体辉光放电环节,产生的等离子体可以对覆膜阴极表面产生净化效果,使得覆膜阴极发射性能有大幅提升。本文对比了不同气体类型、气体压强和放电时长处理,对阴极发射改善的差异。氙气120Pa放电持续20分钟可以达到较好的净化效果,继续增加放电时间发射提升不明显,二次暴露大气后等离子体净化优势仍在。本文为真空电子器件的洁净制备提供参考依据。
- 【会议录名称】 第二十二届真空电子学学术年会论文集
- 【会议名称】第二十二届真空电子学学术年会
- 【会议时间】2024-05-09
- 【会议地点】中国广东广州
- 【分类号】TN12;O53
- 【主办单位】中国电子学会