【作者】 李义锋； 姜龙； 安晓明； 刘晓晨； 张雅琳； 仝婷婷； 李文江； 葛新岗； 张平伟； 郭辉； 孙振路；

【Author】 LI Yi-feng;JIANG Long;AN Xiao-ming;LIU Xiao-chen;ZHANG Ya-lin;Tong Ting-ting;Li Wen-jiang;GE Xin-gang;ZHANG Ping-wei;GUO hui;SUN Zhen-lu;Hebei Plasma Diamond Technology Co., Ltd.;Hebei Institute of Laser Co., Ltd.;

【机构】 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司； 河北省激光研究所有限公司；

【摘要】 本文首先介绍了人工合成金刚石技术,简要分析了几种主要化学气相沉积方法的技术特点、应用领域及发展现状,重点介绍了微波等离子体化学气相沉积大尺寸光学级金刚石膜的发展和现状。最后,对大尺寸光学级金刚石膜在兆瓦级回旋管、高功率CO₂激光器以及红外热成像等领域的应用进行了简单介绍。更多还原

【Abstract】 Diamond synthesis technology is introduced. The technical characteristics, application fields and development status of four main chemical vapor deposition methods are analyzed. The development and current status of large area optical grade diamond films prepared by microwave plasma chemical vapor deposition are especially highlighted. And the applications of large area optical grade diamond films in megawatt gyrotron, high power CO₂ laser and infrared thermography are introduced briefly.更多还原