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冷阴极平板X射线源及其成像应用
【作者】 陈军；
【机构】 中山大学电子与信息工程学院,光电材料与技术国家重点实验室；
【摘要】 冷阴极平板X射线源有望实现无机械扫描、低剂量、高分辨适形X射线成像。大面积冷阴极电子源及其器件集成工艺是实现平板X射线源的核心。本报告将介绍我们在大面积纳米线冷阴极制备及其平板X射线源器件应用的研究进展。我们采用热氧化法实现了大面积氧化锌纳米线冷阴极阵列,通过优化阵列参数和掺杂实现高发射电流发射。制备了具有寻址和聚焦能力的氧化锌纳米线冷阴极阵列,研制出大面积冷阴极平板X射线源器件并探索了其成像应用。
- 【会议录名称】 第四届全国X射线管学术年会论文集
- 【会议名称】第四届全国X射线管学术年会
- 【会议时间】2023-04-15
- 【会议地点】中国江苏常州
- 【分类号】TN14
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会