柔性薄膜太阳电池封装阻水膜的研究进展

【作者】 陈强； 桑利军； 王正铎； 张海宝； 杨丽珍； 刘忠伟；

【机构】 北京印刷学院等离子体物理与材料研究室；

【摘要】 近年来,在柔性太阳能电池、可穿戴有机电子封装、有机发光二极管和量子点封装、真空绝缘板密封、生物医学和可再生能源防护等方面,以柔性塑料为基体的阻湿、阻氧、高透明的薄膜得到了广泛的应用,这促进了阻隔层制备技术的发展。其中等离子体技术在阻隔层制备中显示出独特的优势,包括:可以大规模生产、制备的阻隔薄膜性能优异、产品成本低廉等。这些技术有等离子体增强物理气相沉积(PEPVD)、等离子体增强/辅助化学气相沉积(PECVD/PACVD)和等离子体增强/辅助原子层沉积(PEALD/PAALD)技术等。本文综述了近年来柔性薄膜太阳电池封装阻水膜的研究进展,特别是基于等离子体技术制备阻隔层的方法和理论,主要是介绍柔性薄膜太阳能电池封装存在的问题、高阻隔薄膜制备中的等离子体源和等离子体增强沉积阻隔层的生长机理和阻隔机理,阐明阻隔层制备方法和性能之间的内在联系和高阻隔薄膜应用方向。更多还原