节点文献
基于CMOS工艺的太赫兹光学天线
【机构】 南京大学电子科学与工程学院；
【摘要】 本文利用集成电路硅材料设计了响应频率在650 GHz左右的加棒扇形光学天线,HFSS仿真结果表明其中心电场增强可以达到200倍。基于0.18μm集成电路工艺制造了太赫兹光学天线阵列,并通过太赫兹时域光谱实验(TDS)验证了光学天线的性能。基于0.18μm集成电路工艺,我们还制备了响应频率在0.65THz的带光学天线的CMOS太赫兹探测器。
- 【会议录名称】 第二届全国太赫兹科学技术学术年会论文集
- 【会议名称】第二届全国太赫兹科学技术学术年会
- 【会议时间】2016-04-13
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN820
- 【主办单位】中国电子学会太赫兹分会、太赫兹科学协同创新中心、中国科学院电子学研究所