中频磁控溅射蚀刻对不锈钢表面形貌的影响

【作者】 肖金泉； 杜昊； 赵彦辉； 宫骏； 孙超；

【机构】 中国科学院金属研究所材料表面工程研究部；

【摘要】 <正>由于不锈钢具有优良特性,被广泛应用在石油、天然气、化工、食品、仪表阀门、耐蚀泵、海洋等工业领域及人们的日常生活中。然而,不锈钢硬度偏低(HV200-250)、耐磨性差,在许多情况下不能满足使用要求。在过去的几十年里,人们在改善不锈钢表面性能方面做了许多努力。可是,在大多数情况下,表面硬度、强度及耐磨性的提高往往伴随着耐腐蚀性的下降,从而使不锈钢零更多还原