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微波介质薄膜研究与应用
【作者】 张继华； 张巧真； 王文君； 陈宏伟； 赵强； 杨传仁；
【机构】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；
【摘要】 <正>微波介质材料是微波器件中使用最广泛的材料。随着微波集成电路和微波器件集成化的发展,块状的微波介质陶瓷材料已经不能满足日益增加的集成化的要求(如单片微波集成电路、薄膜滤波器、移相器、集成微波电容),微波介质材料的薄膜化已经成为发展的必然趋势。本文主要介绍电子科技大学在微波介质陶瓷的薄膜化方面的工作进展。在国家973项目和相关部委项目的支持下,
- 【会议录名称】 TFC’11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’11全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2011-08-25
- 【会议地点】中国江西南昌
- 【分类号】TB383.2;TN12
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会