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热电薄膜与薄膜温差电池研究进展
【作者】 范平； 郑壮豪； 陈天宝； 蔡兆坤； 刘朋娟； 张东平； 梁广兴； 曹鹏举； 黄仁贵；
【机构】 深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所深圳市传感器技术重点实验室；
【摘要】 <正>首先介绍国内外低温Bi-Sb-Te系热电薄膜材料的研究现状,对采用不同方法制备的Bi-Sb-Te系热电薄膜性能进行简要评述。在阐述提高Bi-Sb-Te系薄膜热电材料性能的方法、途径以及其应用的基础上,介绍我们在热电薄膜方面的研究进展。我们首次采用离子束溅射二元复合靶法,成功制备了具有理想化学
- 【会议录名称】 TFC’11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’11全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2011-08-25
- 【会议地点】中国江西南昌
- 【分类号】TM913
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会