等离子体表面改性原理及其应用

【作者】 陈强； 朱惠钦； 潘振强； 梁凯基；

【机构】 广东振华科技股份有限公司； 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室；

【摘要】 等离子体表面改性是一种基于等离子体中产生的电子、离子、活性粒子和紫外光等和处理材料的表面相互作用,对处理材料表面进行灭菌、清洗、接枝和功能化等性能达到提高为目的方法。等离子体表面处理具有效率高、速度快、功能多、可大面积工业化运行等特点。目前不论在航空航天、微电子行业、显示器、半导体工业等高端产业,在印刷、包装、纺织等和日常生活紧密相关的领域,等离子体改性在越来越多被应用。采用等离子体表面改性可以在较低的温度下实现基体的高表面能、高附着力、高附加值。尽管等离子体表面改性已经较为广泛应用,但是关于等离子体表面改性原理和界面反应方式研究却很有限。本文主要阐述近年来我们对等离子体技术在表面改性机理方面的研究成果,同时也报道采用等离子体技术在表面改性方面的应用。通过对有机薄膜的表面改性,我们提高了有机薄膜的阻隔性能、亲润性能和印刷适性等;而对金属薄膜表面改性,提高镀层的附着力、硬度、摩擦磨损性能等。更多还原