冷阴极X射线管复合栅极结构

【作者】 高万里； 朱卓娅； 雷威； 张晓兵；

【机构】 东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作联合实验室；

【摘要】 在冷阴极X射线管中,栅极结构不仅决定阴极表面发射场的强度,还影响着透过栅孔到达阳极的电子数。为解决因场发射电子被栅极截获而使阳极电流降低,本文提出了利用二次发射材料和金属栅网组合成复合电子调制结构。论文在金属栅极表面电子束蒸镀MgO薄膜,分析比较了具有不同厚度MgO薄膜复合栅极的场发射结构的发射特性,并设计加工了基于MgO复合栅极的冷阴极X射线管。和原金属栅极结构相比,采用MgO复合栅极的X射线管工作稳定,阳极电流得到了较大提升,电子透过率提高了30%以上,可以达到80%。可以认为,原本受栅极截获的场发射电子轰击到适当厚度的Mg O薄膜后,产生的二次电子不仅补偿了被截获的电流,还在阳极场作用下成为发射电流的一部分,提高了阳极电流。更多还原