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桥接栅控聚焦结构ZnO纳米线冷阴极电子源阵列的研制
【作者】 曹秀清； 刘垣明； 郑克爽； 黄佳； 佘峻聪； 邓少芝； 许宁生； 陈军；
【机构】 广东省显示材料与技术重点实验室光电材料与技术国家重点实验室中山大学电子与信息工程学院；
【摘要】 <正>大面积可寻址冷阴极电子源阵列在场致平板显示、平板X射线源等真空微电子器件方面有重要应用。本研究设计了一种集可寻址和可电子束聚焦功能于一体的桥接栅控ZnO纳米线冷阴极阵列器件。该器件由玻璃基板、阴极、栅极、聚焦极和绝缘层组成。首先在玻璃衬底上制备相互垂直的阴极和栅极;然后沉积一层SiO2绝缘层;再在绝缘层上制备顶部
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会论文集
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会
- 【会议时间】2018-08-23
- 【会议地点】中国甘肃平凉
- 【分类号】TB383.1;TN105
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、微波电真空器件国家级重点实验室