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Spindt型复合尖锥场发射阵列阴极的制备与性能研究
【作者】 王小菊； 邓江； 祁康成； 曹贵川； 林祖伦； 郑磊；
【机构】 电子科技大学光电科学与工程学院； 成都信息工程大学光电技术学院；
【摘要】 为了提高Spindt-FEA的场致发射性能,本文在传统的Mo尖锥发射体表面涂覆LaB6薄膜,形成复合型Spindt-FEA。利用LaB6较低的逸出功、优良的化学稳定性和抗离子轰击能力,增大阴极的发射电流密度和工作稳定性。阴极的场致发射性能测试结果显示,当栅极电压为97V,占空比为30%时,阳极电流达到21mA,折合电流密度0.75A/cm2。在该条件下,阴极连续工作10h,发射电流衰减小于1%。该阴极在场发射显示及场发射微波器件中将具有很大的应用前景。
【关键词】 Spindt-FEA；
LaB6薄膜；
电流密度；
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会论文集
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会
- 【会议时间】2018-08-23
- 【会议地点】中国甘肃平凉
- 【分类号】O462
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、微波电真空器件国家级重点实验室