微波真空器件内真空的测量

【作者】 刘燕文； 田宏； 李芬； 石文奇； 朱虹； 谷兵；

【机构】 中国科学院电子学研究所；

【摘要】 微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是器件工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^-9Pa的微波器件;采用四级质谱仪分析了微波器件的排气过程和极限真空状态下的残气质谱,并由此确定了微波器件经济可行的烘烤排气时间。建立了放气量极低的测量微波器件真空度的测试平台。对微波器件封离排气设备后的老练、高低温实验、存储等过程的真空度进行了测试。微波器件在进行老练时,器件内真空度下降一个数量级,经过140h老练后,在老练离子泵的抽气作用下,器件内真空度上升到到5.0×10^-8Pa,这时去掉老练离子泵,其真空度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验,并在室温下存储6个月,真空保持良好。这些结果为分析器件质量提供很好的依据。更多还原