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微型溅射离子泵的研究
【机构】 东南大学电子科学与工程学院显示中心；
【摘要】 为了适应真空器件微型化的需要,对一种小尺寸的微型溅射离子泵的特性进行研究,探究其抽气效果和微型化应用可行性。运用CST三维电磁场仿真软件对泵内电子飞行轨迹进行模拟,并在真空压强3E-4 Pa到9.5E-2 Pa范围内对这种微型泵进行了特性研究实验,结果说明该微型泵符合传统溅射离子泵规律,同时也证明了其具有一定的抽气效果。
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会论文集
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第二十一届学术年会
- 【会议时间】2018-08-23
- 【会议地点】中国甘肃平凉
- 【分类号】TN103
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、微波电真空器件国家级重点实验室