二维薄片队列微电极电解加工三维微型腔

【作者】 雷建国； 伍晓宇； 伍博； 钟金明； 徐斌； 郭登极； 江凯； 伍朝志；

【机构】 深圳大学机电与控制工程学院；

【摘要】 为了促进加工间隙内电解液的快速更新和电解产物的顺利排出,实现大深度三维微型腔微细电解加工,提出了一种二维薄片队列微电极逐片往复式电解加工工艺。研究了电解液浓度、加工电压和回退距离对厚度底面绝缘的单片电极加工微型腔结果的影响,获得了合理的工艺参数并以此为依据加工三维微型腔。实验结果表明:NaNO3电解液浓度为2.5g/L、回退距离为50μm、加工电压为9～30 V时,微型腔开口宽度W0可控制在200±10μm范围之内,其与加工深度基本无关,并且加工深度越大,微型腔侧壁斜度越小;其中加工电压为30 V时,加工效率最高。基于优化的工艺参数,采用薄片队列微电极逐片往复式电解加工分别获得了盲孔型、含矩形孤岛和含半圆弧孤岛的大深度三维微型腔,其加工深度均超过1000μm。更多还原