【作者】 邹亮桃； 刘久玲； 何世堂；

【Author】 ZOU Liang-tao;LIU Jiu-ling;HE Shi-tang;Institute of Acoustics, CAS;University of Chinese Academy of Sciences;

【机构】 中国科学院声学研究所； 中国科学院大学；

【摘要】 <正>0引言SAW气体传感器的基本原理是通过器件表面对待测气体的吸附,引起声表面波传播速度的变化,从而改变振荡频率,以此实现对气体的测量[1][4]。SAW气体传感器中常用的叉指电极材料是Al,而在长期的实际应用中发现,特别是直接附着式的这类SAW气体传感器更易受到待测气体环境的腐蚀[3],这降低了传感器的稳定性[2][3]。由于惰性金属材料具有较强的抗腐蚀性,本文采用Au来作为替代材料,但考虑到Au在压电基片表面的附着性较弱,进一步提出采用金/铝更多还原