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一种针对大口径凸非球面面形检测的改良检测方法
【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所； 中国科学院大学；
【摘要】 随着大口径凸非球面光学元件被广泛应用于各类精密的光学系统中,其面形检测的难题日益凸显。当"大口径"的定义发生了变化,传统的测试方法已无法满足需求。本文提出了一种改良的面形检测方法,它利用了一个相对较小的计算全息衍射元件(CGH)和一个具有一定可行性的照明透镜来测量大口径凸非球面,如图1所示。为了证明该系统的适用性,本文针对两块不同参数的凸非球面进行了测量系统及相关测量元件的设计,并且对系统的敏感度进行了分析。仿真实验证明,通过精确的对准,该测量系统的精确度可以优于6纳米,设计实例和分析表明这一检测系统适用于测量大口径凸非球面。
- 【会议录名称】 第十七届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十七届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2018-08-20
- 【会议地点】中国吉林长春
- 【分类号】TH74
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会