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基于ZEMAX软件偏振棱镜误差分析
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 <正>在大数值孔径投影光刻系统中,照明光偏振态对成像质量的影响已经不能忽略。高精度的偏振检测技术是研制投影光刻曝光光学系统的关键技术之一。在偏振态检测装置中,检偏器是其关键部件。入射光通过检偏器后获得线偏振光,高精度的线偏振光是提高偏振参数测量精度的前提和基础。入射光的入射角度差异会严重影响线偏振光参数值。如何保证合适的入射角度是获得高精度偏振光的关键。
- 【会议录名称】 第十七届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十七届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2018-08-20
- 【会议地点】中国吉林长春
- 【分类号】O436.3
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会