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高精度竖直液体静压滑台设计与测控方法的学术研究进展
【摘要】 <正>1.不等流量的滑块结构设计方法导轨1、导轨2及立柱形成闭式矩形导轨,其静压滑块在其中间沿Z方向运动,此时滑块只有一个自由度,形成闭式结构,如图1示。滑块上设有12个油腔,其中Y1/Y7、Y2/Y8、Y3/Y9、Y4/Y10、Y5/Y11、Y6/Y12为六对对置油腔;油腔Y1-Y4为后油腔,与立柱导轨面相接触;油腔Y7-Y10为前油腔;油腔Y5、Y6、Y11、Y12为左右油腔。其结构如图2所示。滑块的上下两个端面分别安装
- 【会议录名称】 中国机械工程学会机械自动化分会&中国自动化学会制造技术专委会学术工作进展报告 2017
- 【会议时间】2017-08
- 【分类号】TH702