高精度竖直液体静压滑台设计与测控方法的学术研究进展

【作者】 李蓓智； 董婉娇； 杨建国；

【机构】 东华大学； 密歇根大学；

【摘要】 <正>1.不等流量的滑块结构设计方法导轨1、导轨2及立柱形成闭式矩形导轨,其静压滑块在其中间沿Z方向运动,此时滑块只有一个自由度,形成闭式结构,如图1示。滑块上设有12个油腔,其中Y1/Y7、Y2/Y8、Y3/Y9、Y4/Y10、Y5/Y11、Y6/Y12为六对对置油腔;油腔Y1-Y4为后油腔,与立柱导轨面相接触;油腔Y7-Y10为前油腔;油腔Y5、Y6、Y11、Y12为左右油腔。其结构如图2所示。滑块的上下两个端面分别安装更多还原