腺嘌呤基聚酰亚胺掺杂纳米二氧化硅薄膜的制备及表征

【作者】 陆政； 胡江淮； 汪志平； 陈昌； 杨刚； 曾科；

【机构】 四川大学；

【摘要】 本文采用溶胶-凝胶法将无机纳米SiO₂粒子掺杂到聚酰亚胺薄膜中,通过紫外-可见光光谱（UV-vis）、傅立叶转换红外光谱（FTIR）、热机械分析仪（TMA）等测试方法,对API与OPI两种体系下薄膜的性能进行了研究。结果表明,PI主链上的-NH-与SiO₂中Si-OH有氢键作用,因此,由腺嘌呤二胺聚合而成的API体系与无机纳米SiO₂粒子间有更好的相容性,无机掺杂量可达20 wt%,此时薄膜样品的热膨胀系数（CTE）降低至18 ppm/℃,并且光学透明性好。该材料在微电子领域有潜在的应用价值。更多还原