聚酰亚胺薄膜介电常数的定量构效关系研究

【作者】 范振国； 刘四委； 池振国； 张艺； 许家瑞；

【机构】 中山大学；

【摘要】 目前,集成电路行业正朝着多功能化、高性能化及轻薄化发展。本课题组制备了一系列本征型聚酰亚胺薄膜,为掌握微观参数对材料宏观性能的影响,进而实现对新材料宏观性能的精准化预测,本工作主要从理论方面进行开展:在B3LYP/6-31G（d）水平上对聚合物单体进行密度泛函理论计算,采集了44种不同化学结构的结构参数。采用通径分析法从15种结构参数里面筛选出7种结构参数—含氟的自然律e^-F%、熵、链段侧基长度、偶极矩、恒热比容、Homo以及Lumo。构建了两种定量构效关系模型,多元线性回归模型（MLR）和支持向量回归模型（SVR）;对7种结构参数构建的两种定量构效关系进行了拟合度、物理意义及共线性方面的分析,评价了两种模型的稳定性。分别对比薄膜的实测介电常数,发现模型的预测值具有较好的预测性,其中MLR的平均相对误差为2.8%,SVR的平均的相对误差为3.9%。更多还原