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操作参数对硅烷热分解过程中硅粉形成的影响
【机构】 青岛科技大学机电工程学院； 青岛科技大学化工学院；
【摘要】 本文建立了无定形硅粉成核的详细反应机理与流体流动、传热和传质模型耦合的数值模型,系统地对研究化学汽相沉积(CVD)反应器中操作参数对硅烷热解的影响规律。利用计算流体动力学(CFD)软件FLUENT 6.3对硅烷分解和硅粉成核进行预测,探讨了总反应压力、进气成分和进气速度对硅烷转化和硅粉成核的影响规律。通过比较数值模拟的硅粉成核和文献中的实验数据,验证了该模型的有效性。结果表明,总反应压力、进口硅烷浓度对硅粉成核有着重要影响,而进口气体速度在一定范围内影响较小。
【基金】 国家自然科学基金(21276132)
- 【会议录名称】 2018年全国工业流体力学会议摘要集
- 【会议名称】2018年全国工业流体力学会议
- 【会议时间】2018-08-20
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TQ264.1
- 【主办单位】中国力学学会流体力学专业委员会