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低气压环境下激光诱导两点等离子体碰撞动力学研究
【机构】 西安交通大学；
【摘要】 低气压环境下激光诱导等离子体在薄膜沉积技术中有着重要的应用,利用激光诱导两种不同金属靶产生等离子体可实现混合元素的薄膜沉积。但是,目前对低气压环境下激光诱导两点等离子体的动力学过程还不清楚。本文利用ICCD照相和空间分辨光谱分别研究了不同气压和不同金属靶材料下两点等离子体碰撞的动力学过程。研究发现两点等离子体的碰撞主要以低气压环境中等离子体分裂的快部分为主,在较高气压环境下等离子体分裂形成的快部分较厚,膨胀较慢,碰撞后形成的滞止层较厚,而较低原子序号的金属靶材料产生的快部分更厚,膨胀速度更快,形成的滞止层较厚。
- 【会议录名称】 第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集
- 【会议名称】第十八届全国等离子体科学技术会议
- 【会议时间】2017-07-26
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】O53
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会聚变与等离子体物理学会、中国物理学会高能量密度物理专业委员会