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场致发射对微小间隙放电的影响
【机构】 北京理工大学物理学院； 北京理工大学机电学院；
【摘要】 近年来伴随着微机电系统与微等离子体的发展,微小电极间隙条件下的气体击穿特性受到广泛关注。当电极间距下降到微米级量级时,传统的Townsend击穿理论可能会失效。本文使用了一种三坐标机械位移装置,在不同的气压与气体条件下,对于1-100μm电极间隙范围内三种不同电极结构(板-板,针-板,线-板)的击穿特性与伏安曲线进行了研究。实验结果表明在电极间距小于5μm情况下,传统大间隙下所使用的Paschen定律与Peek定律理论均已失效,击穿电压随间隙下降而下降。这一结果可能是由于场致发射或其他机制使得二次电子发射过程发生变化而导致的。
【基金】 国家自然科学基金(11475019)
- 【会议录名称】 第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集
- 【会议名称】第十八届全国等离子体科学技术会议
- 【会议时间】2017-07-26
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】O53;O46
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会聚变与等离子体物理学会、中国物理学会高能量密度物理专业委员会